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    石墨盤因用處、加工工藝、資料特性等不同,有多種分類辦法,以下是常見的分類介紹:
    按用處分類
    半導體制作用石墨盤
        特色:對純度要求極高,通常純度需到達99.99%以上,以防止雜質對半導體器材功能的影響。外表平整度和光潔度要求也很嚴厲,以保證在半導體加工進程中,如化學氣相堆積(CVD)、快速熱處理(RTP)等工藝中,能均勻地承載和加熱半導體晶圓。
        使用場景:在半導體芯片制作進程中,用于承載硅片進行外延生長、分散、氧化等工藝,是半導體制作設備中的關鍵部件。
    真空爐用石墨盤
        特色:具有杰出的耐高溫功能,能夠在高溫真空環境下長期穩定工作,且不與爐內氣氛發生化學反應。其結構強度要足夠,以接受高溫下資料的熱膨脹和自身分量。
        使用場景:廣泛使用于真空燒結爐、真空熱處理爐等設備中,用于放置和加熱各種金屬、陶瓷等資料,完成資料的燒結、退火、淬火等熱處理工藝。
    玻璃加工用石墨盤
        特色:要求具有必定的耐高溫功能和化學穩定性,能接受玻璃熔化進程中的高溫文化學侵蝕。一起,外表要光滑,以削減對玻璃制品的摩擦和損傷。
        使用場景:在玻璃熔化、成型和退火等工藝中,用于承載和運送玻璃液或玻璃制品,保證玻璃制品的質量和形狀精度。
    光伏工業用石墨盤
        特色:純度和外表質量要求較高,以保證在光伏電池制作進程中不會引入雜質和缺點。一起,要具有杰出的導熱功能,以保證硅片等資料在加工進程中的溫度均勻性。
        使用場景:在光伏電池的分散、鍍膜等工藝中,用于承載硅片,是光伏工業中不可或缺的重要部件。
    按加工工藝分類
    等靜壓成型石墨盤
        特色:采用等靜壓成型工藝制成,資料密度均勻,各向同性好,機械功能優異。其內部結構細密,孔隙率低,具有較高的強度和硬度。
        使用場景:適用于對資料功能要求較高的范疇,如半導體制作、航空航天等。
    模壓成型石墨盤
        特色:經過模具壓制成型,生產效率高,成本相對較低。但產品的密度和功能或許存在必定的各向異性,即不同方向上的功能有所差異。
        使用場景:常用于一些對功能要求不是特別苛刻的場合,如一般工業加熱設備中的石墨盤。
    機械加工石墨盤
        特色:以石墨塊材為原料,經過車削、銑削、鉆孔等機械加工辦法制成。能夠根據客戶的需求加工出各種復雜的形狀和尺度,但加工進程中會發生必定的資料損耗。
        使用場景:廣泛使用于各種需要定制形狀和尺度的場合,如實驗室設備、特殊工業爐等。
    按資料特性分類
    高純石墨盤
        特色:純度極高,雜質含量極低,通常雜質總含量小于50ppm。具有杰出的導電性、導熱性和化學穩定性,在高溫下不易氧化和腐蝕。
        使用場景:首要用于半導體、電子、航空航天等對資料純度要求極高的范疇。
    細結構石墨盤
    特色:晶體結構細小,組織均勻,具有較高的強度、硬度和耐磨性。一起,其導熱性和導電性也較好,但相比高純石墨盤,純度或許稍低。
    使用場景:適用于一些對機械功能要求較高的場合,如機械密封、模具制作等。
    浸漬石墨盤
        特色:經過浸漬工藝,將樹脂、金屬等資料浸入石墨的孔隙中,提高了石墨的強度、密封性和耐腐蝕性。根據浸漬資料的不同,可分為樹脂浸漬石墨盤和金屬浸漬石墨盤。
        使用場景:樹脂浸漬石墨盤常用于化工、食品等職業的密封和防腐設備中;金屬浸漬石墨盤則適用于一些高溫、高壓和強腐蝕的惡劣環境。

    石墨盤






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